半導体型金属触媒フィルターとは
半導体型金属触媒フィルターは細菌等の有機物を酸化分解する半導体層と分解エネルギーを蓄積する金属層で構成されています。そのフィルターの表面に細菌等の有機物が物理吸着すると、表面に生成される活性酸素種がそれらの有機物を化学反応により酸化分解します。

また超純水を半導体型金属触媒フィルターに通過させることにより、通過前の超純水に比べ、Siウェハ上の接触角低下を確認しております。この機能を半導体や液晶用ガラス基板の洗浄時にダスト除去効果、濡れ性の改善が期待でき、研究・開発を進めています。

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